隨著半導體技術的不斷發展,對電子半導體石墨的性能要求也在不斷提高。未來,電子半導體石墨將朝著更高純度、更高性能、更環保的方向發展。同時,為了滿足半導體制造中的多樣化需求,石墨材料的制備工藝和加工技術也將不斷創新和改進。
電子半導體石墨是一種具有特殊電學性質的石墨材料,通過特定的工藝處理,石墨材料中的碳原子排列發生變化,使得其導電性能介于導體和絕緣體之間,從而表現出半導體特性。這種獨t的性質使得在微電子學、光電子學以及傳感器等領域具有廣泛應用前景。
1、定位與對齊:
根據設備圖紙或標記,正確定位石墨部件的安裝位置和方向(如加熱器的正負極、坩堝的錐度方向)。
使用非金屬定位銷或夾具輔助對齊,避免強行插入造成碎裂。
2、輕柔操作:
石墨材質脆性大、易碎,安裝時必須輕拿輕放,避免碰撞、跌落或施加側向力。
推薦使用真空吸盤或專用非金屬夾具進行搬運和定位。
3、連接與固定:
若需螺栓固定,使用非金屬或高純石墨螺栓,按對角線順序、分步均勻擰緊,避免局部應力集中導致開裂。
電連接部分(如加熱器電極)應確保接觸良好、無松動,接觸面可涂抹少量高純石墨導電膏以降低接觸電阻(需確認工藝允許)。
4、間隙與配合:
注意石墨部件之間的熱膨脹間隙。石墨熱膨脹系數雖小,但在高溫下仍會膨脹,需預留足夠間隙防止熱應力開裂。
避免過盈配合或強制裝配。
